微机电系统设计及应用探究

定　　价：86 元

• 作者：吴倩楠著
• 出版时间：2021/5/1
• ISBN：9787557880477
• 出 版 社：吉林科学技术出版社

• 中图法分类：TM380.2 
• 页码：177
• 版次：1
• 开本：26cm

内容简介

《微机电系统设计及应用探究》一书中讲述的微机电系统涉及多学科交叉, 具有能够在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境的特点, 有着广泛的应用前景。本书结合当前微机电系统的科学研究, 对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍, 使读者对微机电系统的设计与制造有一个比较完整的了解, 为开展微机电系统的研究奠定必要的基础。