微纳米加工技术及其应用(第四版)

定　　价：129 元

• 作者：崔铮 著
• 出版时间：2020/9/1
• ISBN：9787040543025
• 出 版 社：高等教育出版社

• 中图法分类：TB383 
• 页码：564
• 纸张：胶版纸
• 版次：4
• 开本：16开

内容简介

本书集作者多年来的实践经验与研究成果，综合介绍微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术等。第四版在内容上反映了集成电路芯片加工技术的进步，不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生，还是对已经有一定工作经验的专业科技人员，都具有很好的参考价值。