MEMS系统级建模

定　　价：89 元

丛书名：微纳系统系列译丛

• 作者：周再发译
• 出版时间：2020/3/1
• ISBN：9787564172633
• 出 版 社：东南大学出版社

• 中图法分类：TH-39 
• 页码：442页
• 纸张：胶版纸
• 版次：1
• 开本：16K

内容简介

本书系统分析和详细描述了MEMS系统级建模中最重要的两种途径，即基于集总元件的物理建模和采用模型降阶方法的数学建模，可以有效实现单个MEMS器件与整个系统的联合仿真。同时，也对MEMS系统级模拟的软件实现进行了比较详尽地分析和介绍。