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微观形貌测量技术 
定 价：86 元
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本书涵盖了表面微观形貌测量的主要设计理论, 对微观形貌的光学测量方法--相移干涉显微测量技术, 展开了全面、系统的理论与实验研究论述。针对相移干涉算法, 即相位提取算法和相位去包裹算法的理论进行了系统的阐述。在干涉显微镜的基础上, 应用新提出和发展的算法编制的软件, 进行了被测物体的相位计算以及截断位相的整体恢复, 进一步提高了微观表面形貌的测量精度和测量可靠性、提高了测量系统的整体性能指标。对测量过程中出现的相位截断现象, 应用传统相位去包裹法解决了原理包裹问题。应用算法解决了噪声包裹导致的相位突跳, 恢复了物体表面形貌的连续性和真实性, 并对算法进行了计算机模拟验证, 证明了它们对现实物体处理的有效性。建立了微分相衬干涉显微测量系统; 应用测试软件、多个算法软件及多组数据处理软件, 分析并解决了微观表面形貌测量中存在的一些技术难题; 对测量系统进行了详细的误差分析。本书对微观形貌测量的知识点进行了精心编排和必要的精简取舍, 突出特色, 助力人们掌握相关的形貌测量方法, 并能用于解决测控技术与仪器及光学工程研制方面的复杂过程问题。
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